halfgeleiderbarometer

7-76 elektuur juli/augustus 1980 Het maken van een barometer heeft altijd al tot de verbeelding gesproken van de inventieve elektronicus. Hij moest voor de realisatie echter steeds gebruik maken van mechanische of semi-elektronische drukopnemers. Zo"n semi-elektronische drukop- nemer is bijvoorbeeld toegepast in de halfgeleidergids van 1979 bij schakeling 44. Sinds kort is er echter een weÃÄl volledig elektronisch middel om de zeer geringe luchtdruk- verschillen te meten. De sensor is ontwikkeld door National Semi- conductor en berust op het principe dat bij halfgeleidermateriaal een weerstandsverandering optreedt wanneer dat materiaal wordt ge- bogen. Met een duur woord heet dat het pieÃàzo-resistief-principe. Van de opbouw van de drukop- nemer is een doorsnede te zien in figuur 1. Er is een stukje silicium dat dienst doet als drager en daarop wordt dan een enigszins uitgehold stukje van hetzelfde materiaal aan- gebracht. De dikte van het na het uithollen resterende materiaal (A)...